36 氪获悉，苏大维格公告，公司拟筹划以现金方式收购常州维普半导体设备有限公司不超过 51% 的股权，收购完成后，预计实现对标的公司的控股。标的公司 100% 股权的整体估值暂定为不超过人民币 10 亿元，本次交易对价预计不超过人民币 5.10 亿元。常州维普是国内极少数在半导体光掩模缺陷检测设备领域已实现规模化量产的企业，其技术、产品和核心算法系正向自研开发，拥有自主知识产权，主要核心零部件实现了国产化和自主可控。标的公司产品已进入国内头部晶圆厂和国内外头部掩膜版厂商的量产线。